1998年7月，IBM发布RS64-II，它具有专用32字节接口界面，提供独享的4路集合关联的(set associative)8MB L2高速缓存。PowerPC RS64 II 64位RISC微处理器(代号NorthStar)成为了Star系列处理器家族的第一位成员。
紧随其后，IBM在10月立刻发布了成熟的64位Power3处理器。该处理器统一了Power2架构 (P2SC)和PowerPC架构，是针对技术应用而设计。与带有专用的整数执行单元和加载/存储执行单元的P2SC相比，Power3的整数性能有重大的改进，由每秒钟6.4GB的内存子系统提供芯片特有的8个执行单元。
也是在这一年，IBM决定开始向IT信息服务提供商转型。这为后来的PC业务出售事件埋下了伏笔。
在1999年铜导线技术成熟之后，这项技术立刻被整合进了PowerPC RS64 III 64位RISC微处理器(代号Pulsar)。业界普遍认为，正是这项技术使得处理器可以达到450MHz的主频速度。2000年64位的Power3-II微处理器采用IBM高级的CMOS 7S工艺，把Power3处理器的铝连接改进为铜连接，新的RS/6000 Model 44P 7044-270(375MHz) 使用了基于铜芯片的Power3-II处理器，对称多处理器系统(SMP)最多可配有4个处理器，在2000年10月IBM将RS/6000改名为IBM eServer pSeries。
IBM pSeries 615
在2000年秋季，IBM增强了RS64 III设计，开始使用铜芯片和SOI绝缘硅技术，使时钟频率增加到600MHZ，就形成了RS64处理器的最新版本即RS64 IV(又被称为Sstar)；在相同型号上缓存大小被增加到16MB，随着RS64的发展，这种处理器的设计可以提供750MHz的时钟频率。2000年10月，IBM推出的pSeries 680服务器，该64位SMP服务器采用RS64 IV处理器，采用6-24路设计，最大支持96GB内存，系统中每个600MH处理器都有16MB L2高速缓存。
经过多年发展，Power架构技术广泛应用在多个领域，它不仅出现在登陆火星的火星车上，还在激光打印机和汽车中有着出色的表现。1999年IBM接受了任天堂公司的合同，为新一代的Nintendo 64游戏机提供定制的处理器芯片，这一合作又为IBM和PowerPC处理器发现了一个新大陆。
2000年，IBM宣布将高速PowerPC 处理器与电视机顶盒（STB）组件一起整合到一个“单芯片系统”上，从而在系统性能、价格和设计等方面为机顶盒厂商带来竞争优势。该单芯片系统拥有众多的先进应用，并能帮助三星等公司灵活应对不断变化的客户需求。
在其1998年-2001年共三年的服役期间，Power3实现了64位对称处理器的重大突破，并被广泛应用在太空探测到天气预报方面的科技计算领域，而使用铜连接重新实现了Power3的Power3-II，则让用户尝到了科技的甜头，他们花相同的价格可以得到两倍的处理性能。
